FG5002S/5005S型大功率发生器 – 利用监控、诊断和维护功能实现最高可用性
5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术,性能优异,十分便于使用。通过模拟监控等离子体腔室内的压力、电流、电压和频率,以及分析等离子体的发射光,获得 最高等级的工艺可靠性。
设备采用用户界面友好的触摸屏操控,和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。
5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术,性能优异,十分便于使用。通过模拟监控等离子体腔室内的压力、电流、电压和频率,以及分析等离子体的发射光,获得 最高等级的工艺可靠性。
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